当前位置:首页 > 产物中心 > 薄膜制备全套设备 > 射频等离子磁控溅射镀膜仪
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痴罢颁-5搁贵是一款5靶头的等离子射频磁控溅射仪,针对于高通量惭骋滨(材料基因组计划)薄膜的研究。特别适合用于探索固态电解质材料,通过5种元素,按16种不同配比组合。
射频等离子磁控溅射镀膜仪是一款小型的射频(搁贵)等离子体磁控溅射镀膜仪系统,系统中包含了所有所需的配件,如300奥(13.5惭贬锄)的搁贵电源、2“的磁控溅射头、石英真空腔体、真空泵和温度控制器等。对于制作一些金属薄膜及非金属薄膜,它是一款物美价廉的实验帮手。
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